真空泵開始工作后，一般需要一定的時間才能逐步使工作容器的真空度到達泵的標稱真空度。如果上升過快，一般是因為工作真空容器容積小，或者介質氣體流量遠大于需要的流量。

  正常情況下，當真空度達到設定值時，真空容器的壓力就會被壓力傳感器感應到，然后壓力傳感器是把信號給控制模塊，由控制模塊判斷壓力是不是達到設定值了，如果達到了控制模塊就讓泵停止工作，而壓力傳感器到泵停止的動作都是需要時間的，這段時間內，真空度就足以上升幾個千帕。真空容器的容積小，相應的真空度上升就會很快，如果同時流量大，就可能出現真空度迅速上升甚至超過設定值的情況。比如說您設定的真空度是-20kpa，結果啟動泵后真空度在停機前就迅速升至-25kpa超出了設定范圍，這不是故障問題，解決的辦法包括：1、增加流量調節閥將流量調小；2、采用調速真空泵，降低轉速，減少流量；3、換用流量較小的型號。