在真空技術應用中，電真空器件包含的內容比較廣泛。除氣也是是電真空器件制造過程中關鍵工序之一。那如果除氣不徹底對電真空器件的性能會有什么影響呢，螺桿真空泵廠家與大家一起來了解下。

    電子真空工業涉及的電真空器件主要有各種電子管、離子管、電子束管、電光源管以及中子管、電子衍射儀、電子顯微鏡、X光顯微鏡等，此外還涉及各種粒子加速器、質譜儀、核輻射譜儀、氣體激光器等等。另外像利用真空中的電子束進行除氣、熔煉、提純、難熔金屬介質的熔化和鉆孔以及焊接、放射性同位素的蒸發等這些方面也涉及電真空器件。

    電真空器件工作時本身是一個較為復雜的物理-化學系統，在它里面可能同時進行著許多物理、化學過程，像吸附和脫附、擴散與遷移、化合與分解等等，這些過程的進行方式與程度和除氣結果關系很大。如果除氣不徹底，對器件性能的影響主要涉及下述幾個方面：

    首先是如果除氣不徹底，那殘余的氣體中的一些成分可能會與電真空器件中陰極發生有害的化學反應，損害陰極的發射能力。

    其次是電真空器件若除氣不徹底，使用中殘余氣體電離形成大量的正離子使空間的電子電荷部分中和，造成電位分布畸變，影響電真空器件器件的特性。如使柵流增高、噪聲增大等。另外正離子在電場的作用下飛向低電位電極（特別是陰極），使電極表面產生濺射，濺射物又沉積到其他電極和絕緣體上，可能引起漏電、打火、二次發射等現象。

    第三就是殘余氣體會加快電真空器件內的物質遷移過程。具體的，有實驗表明如電真空器件內含侵蝕性氣體（SO2、Cl2、O2等）且由他里較高時，一些金屬（如Cu）在低溫下會迅速蒸發。

    為避免上述情況的出現，電真空器件在除氣過程中還要綜合考慮器件材料的理化與真空性能，以及真空中的物質遷移過程，陰極、消氣劑與各種氣體的相互作用，另外還需要正確選擇與使用真空排氣系統。

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